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本技术属于半导体制造技术领域，具体的说是一种光刻胶输送装置，包括缓冲罐和控制系统，所述控制系统采用PLC控制器，所述缓冲罐的顶部分别安装有进液端、排气端和出液端，所述进液端的顶部固定连接有进液管道；本技术通过输送泵将光刻胶供给瓶内部的光刻胶...
该专利属于苏州明扬半导体材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州明扬半导体材料有限公司授权不得商用。

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