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一种晶棒生长控制方法、装置、系统、存储介质和计算机程序产品,晶棒生长控制方法包括:获取晶棒生长过程中晶棒的称重直径、人工测量直径和相机测量直径;计算称重直径和人工测量直径之间的差值是否处于预设差值范围;在差值不处于预设差值范围内时,直接根据...
该专利属于上海新昇半导体科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海新昇半导体科技有限公司授权不得商用。

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