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本申请涉及一种应用于湿刻清洗机台的温度控制系统及方法。湿刻清洗机台包括若干个功能槽，温度控制系统包括：与各功能槽分别热交换连接的电控温装置和化学反应控温装置，以及与电控温装置和化学反应控温装置连接的控制装置；其中，电控温装置用于：进行电能和...
该专利属于上海积塔半导体有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海积塔半导体有限公司授权不得商用。

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