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本申请公开了一种用于量测晶圆的关键尺寸的方法、设备和存储介质。所述方法包括：获取晶圆中待量测区域的各子区域的信号波形图；将所述各子区域的信号波形图与其周围相邻子区域的信号波形图进行配准对齐，以获得配准对齐后子区域的信号波形图；基于信号波形模...
该专利属于惠然微电子技术（无锡）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过惠然微电子技术（无锡）有限公司授权不得商用。

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