下载电化学沉积表面地形仿真方法、装置及可读存储介质的技术资料

文档序号:42692121

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本申请涉及一种电化学沉积表面地形仿真方法、装置及可读存储介质;获取待仿真芯片的版图信息;获取初始时刻环境信息以及初始表面地形仿真模型;通过初始表面地形仿真模型,基于版图信息以及初始时刻环境信息进行沉积仿真,生成待仿真芯片的电化学沉积仿真结果...
该专利属于杭州广立微电子股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过杭州广立微电子股份有限公司授权不得商用。

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