【技术实现步骤摘要】
本申请涉及芯片表面地形仿真，特别是涉及一种电化学沉积表面地形仿真方法、装置及可读存储介质。
技术介绍
1、电化学沉积是一种通过在电极表面施加电场来促使物质从电解液中沉积到电极上的技术，广泛应用于微电子学、材料科学和能源存储等领域；电化学沉积仿真在晶圆制作中发挥着重要的作用，能够提升工艺的可靠性、效率和成本效益。
2、现有技术中，通常建立铜超保型电沉积模型以实现电化学沉积仿真；该模型解释了催化剂如何通过与电解质反应在界面上积聚，以及界面面积的变化如何迅速发生小特征内的表面覆盖范围的变化；然而，该模型无法解释实际制造过程中小线宽区域、低密度区域等特殊区域的表现，导致特殊区域的仿真结果与实际制造工艺存在较大差异，即现有技术中的电化学沉积仿真模型的准确性较低。
3、针对现有技术中存在的电化学沉积仿真模型的准确性较低的问题，目前没有提出有效的解决方案。
技术实现思路
1、基于此，有必要针对上述技术问题，提供一种电化学沉积表面地形仿真方法、装置及可读存储介质。
2、...
【技术保护点】
1.一种电化学沉积表面地形仿真方法，其特征在于，所述方法包括：
2.根据权利要求1所述的电化学沉积表面地形仿真方法，其特征在于，所述获取待仿真芯片的版图信息，包括：
3.根据权利要求1所述的电化学沉积表面地形仿真方法，其特征在于，所述初始表面地形仿真模型包括多个地形位置的沉积模型；所述通过所述初始表面地形仿真模型，基于所述版图信息以及初始时刻环境信息进行沉积仿真，包括：
4.根据权利要求3所述的电化学沉积表面地形仿真方法，其特征在于，所述方法还包括：
5.根据权利要求4所述的电化学沉积表面地形仿真方法，其特征在于，确定当...
【技术特征摘要】
1.一种电化学沉积表面地形仿真方法，其特征在于，所述方法包括：
2.根据权利要求1所述的电化学沉积表面地形仿真方法，其特征在于，所述获取待仿真芯片的版图信息，包括：
3.根据权利要求1所述的电化学沉积表面地形仿真方法，其特征在于，所述初始表面地形仿真模型包括多个地形位置的沉积模型；所述通过所述初始表面地形仿真模型，基于所述版图信息以及初始时刻环境信息进行沉积仿真，包括：
4.根据权利要求3所述的电化学沉积表面地形仿真方法，其特征在于，所述方法还包括：
5.根据权利要求4所述的电化学沉积表面地形仿真方法，其特征在于，确定当前沉积阶段，包括：
6.根据权利要求1所述的电化学沉积...
【专利技术属性】
技术研发人员：谢煜威，张锐，
申请(专利权)人：杭州广立微电子股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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