温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

一种基于折叠梁结构的硅基谐振式压力传感器，涉及一种压力传感器。提供一种利于释放热膨胀的折叠式的谐振梁结构，该传感器采用静电激励压阻检测，包括压力膜层、感压层、谐振结构层及基座层，其中感压层与谐振器层采用硅材料制作，基座层由BF33硼硅玻璃制...
该专利属于厦门大学所有，仅供学习研究参考，未经过厦门大学授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。