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本发明涉及一种采用双膜三梁结构的压电谐振式压力传感器及压力测量方法，包括应力隔离层、双膜基底层、压电谐振层。双膜三梁是指两个带有凸台结构的敏感薄膜和三根压电谐振梁，第一谐振梁和第三谐振梁分别悬空在第一压力敏感薄膜和第二压力敏感薄膜的上方，利...
该专利属于西北工业大学所有，仅供学习研究参考，未经过西北工业大学授权不得商用。

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