下载一种多晶硅铸锭炉二次加料控制方法及加料装置的技术资料

文档序号:42688200

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本发明涉及坩埚加料技术领域,尤其涉及一种多晶硅铸锭炉二次加料控制方法及加料装置,本发明通过温度传感器实时监控熔体温度及热场状态,确保了加料量和加料速度的动态调整与熔体温度的精确匹配,提高了温度控制的精度,有利于形成高质量的多晶硅材料,本发明...
该专利属于天津旭日东升精密机械有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过天津旭日东升精密机械有限公司授权不得商用。

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