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氧化镓光电探测器及制备方法技术
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文档序号:42688054
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本发明提供了一种氧化镓光电探测器及制备方法,涉及光电探测技术领域。该探测器结构由下至上依次包括:衬底、绝缘层、电荷存储层、氧化镓吸光层;漏极和源极设置在氧化镓吸光层的两端;漏极、源极和氧化镓吸光层通过欧姆接触方式,在外加电场的作用下形成回路...
该专利属于中国科学技术大学所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学技术大学授权不得商用。
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