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一种超低寄生ESD保护器件制造技术
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文档序号:4268700
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本发明涉及一种超低寄生ESD保护器件,其包括:一P型衬底,所述P型衬底上形成场氧化层,所述场氧化层上为多晶硅层,所述多晶硅层上的一端为P+注入区,另一端为N+注入区,中间是本征区,在所述P+注入区和N+注入区上间隔设置有多个接触孔。因此本发...
该专利属于北京大学所有,仅供学习研究参考,未经过北京大学授权不得商用。
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