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公开了多波束曝光装置的校正方法和多波束曝光装置，所述校正方法可以包括：生成第一函数，第一函数是由多个波束之中的边缘波束的灰度级表达的图案的尺寸的根据与边缘波束相邻的第二波束的变化量；获取第二函数，第二函数是由第一函数、边缘波束的灰度级和CD...
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