下载晶片加工设备的技术资料

文档序号:42685843

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本技术公开了一种晶片加工设备,晶片加工设备包括:磨削装置,磨削装置具有用于固定晶片的磨削工作台;检测装置,检测装置具有用于检测磨削工作台上的晶片的厚度的检测头;喷淋装置,喷淋装置包括:喷淋管,喷淋管上形成有喷淋孔,喷淋装置被配置为通过喷淋孔...
该专利属于江苏元夫半导体科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过江苏元夫半导体科技有限公司授权不得商用。

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