下载平板探测器及其制作方法的技术资料

文档序号:42685739

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本发明涉及一种平板探测器及其制作方法,平板探测器包括基板、缓冲层和功能层,缓冲层设置在基板上,功能层设置在缓冲层上,功能层包括位于同层且间隔设置的驱动部、信号读取部和转换结构,驱动部、信号读取部和转换结构的掺杂层均通过离子注入而形成,降低了...
该专利属于惠科股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过惠科股份有限公司授权不得商用。

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