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提供了一种脆基板裂片设备和方法。该裂片设备包括：用于加热从外部供应的空气的第一加热器，用于将蒸汽供应到由第一加热器加热的首次加热的空气的蒸汽供应装置，用于加热由首次加热的空气和蒸汽构成的混合物的第二加热器，和用于将由第二加热器加热的再次加热...
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