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反相器及其制备方法技术
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文档序号:42685252
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本公开提供了一种反相器及其制备方法,反相器包括:衬底、第一栅电极和第二栅电极、栅介电层、有源层;源漏极层形成在有源层上,并包括第一漏电极、第二源电极、以及位于第一漏电极和第二源电极之间并一体形成的第一源电极和第二漏电极,第一源电极通过形成在...
该专利属于天津大学所有,仅供学习研究参考,未经过天津大学授权不得商用。
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