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本申请提供了一种晶圆冷却装置，属于晶圆加工技术领域。包括：冷却系统和用于将晶圆放置于冷却系统的晶圆托爪；冷却系统包括放置晶圆的冷却座和用于冷却晶圆的冷却组件；晶圆托爪包括托举晶圆边缘的片托和设置于片托上方的密封盖板；晶圆托爪设置于冷却座的上...
该专利属于无锡富创得精密设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过无锡富创得精密设备有限公司授权不得商用。

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