下载单晶炉掺杂装置和单晶炉的技术资料

文档序号:42679877

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本申请提供了一种单晶炉掺杂装置及单晶炉,包括加料室、真空储料室、下料斗和下料管道,其中的加料室设有加料口,真空储料室可以存储固态掺杂剂,下料斗的底部设有出料口,真空储料室与加料室、下料斗和下料管道均密封连接,下料管道输送固态掺杂剂,避免与外...
该专利属于天合光能股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过天合光能股份有限公司授权不得商用。

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