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本发明涉及微位移传感器技术领域，公开一种基于游标效应的微位移传感器及检测系统、制备系统。微位移传感器包括：单模光纤、接触探头和弹性支架。弹性支架的一端与单模光纤的第一端面连接，弹性支架的另一端与接触探头的第二端面一体化连接，以形成空气腔；通...
该专利属于汕头大学所有，仅供学习研究参考，未经过汕头大学授权不得商用。

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