【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及微位移传感器领域，尤其是一种基于游标效应的微位移传感器及检测系统、制备系统。
技术介绍
1、在随着微纳技术的迅速发展，微操作技术在近几十年里受到了广泛关注。在过去的十年里，开发了许多基于微机电系统（mems）的微纳位移传感器，例如电阻式、电容式、压电式微位移传感器。然而，mems微位移传感器的应用往往需要专门的封装设计，将机电系统整合到一起，导致其体积微型化受限，且其易受外界电磁扰动的干扰。
2、在现有技术中，基于微机电系统的位移传感器存在封装设计难度高，探头部分难以做到微型化，易受电磁干扰的问题；而光纤光栅型位移传感器存在传感器灵敏度较低（约为0.62 nm/mm），且其需要粘贴固定在待测物上，无法做到简单的接触式测量的问题；部分干涉型传感器的位移传感灵敏度较低，且需要粘贴固定在待测物上，无法实现简单的接触式测量。通过检测空间干涉条纹漂移实现传感功能的器件，需要使用空间光器件，不利于器件小型化和集成化。
技术实现思路
1、本专利技术的目的是提一种基于游标效应的微...
【技术保护点】
1.一种基于游标效应的微位移传感器，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的一种基于游标效应的微位移传感器，其特征在于，所述开放式弹性法布里-泊罗谐振腔的腔长范围为至，所述封闭式法布里-泊罗谐振腔的腔长范围为至，所述开放式弹性法布里-泊罗谐振腔与封闭式法布里-泊罗谐振腔之间的光程差范围为至。
3.根据权利要求1所述的一种基于游标效应的微位移传感器，其特征在于，所述弹性支架包括：菱形支架、双菱形支架和弧形支架。
4.一种基于游标效应的微位移传感器的微位移检测系统，其特征在于，应用权利要求1至3任一项所述的一种基于游标效应的微位移传
...【技术特征摘要】
1.一种基于游标效应的微位移传感器，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的一种基于游标效应的微位移传感器，其特征在于，所述开放式弹性法布里-泊罗谐振腔的腔长范围为至，所述封闭式法布里-泊罗谐振腔的腔长范围为至，所述开放式弹性法布里-泊罗谐振腔与封闭式法布里-泊罗谐振腔之间的光程差范围为至。
3.根据权利要求1所述的一种基于游标效应的微位移传感器，其特征在于，所述弹性支架包括：菱形支架、双菱形支架和弧形支架。
4.一种基于游标效应的微位移传感器的微位移检测系统，其特征在于，应用权利要求1至3任一项所述的一种基于游标效应的微位移传感器，包括：
5...
【专利技术属性】
技术研发人员：彭思苏，李贤靖，孙裕鑫，辛紫璇，刘杨，郑榕城，曲航，
申请(专利权)人：汕头大学，
类型：发明
国别省市：
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