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本技术公开了一种晶圆表面干燥吹扫设备，包括底板，底板上固定安装有安装架，安装架内转动连接有连接轴，连接轴的外侧套设有旋转架，旋转架上位于连接轴的外侧设置有多个放置槽，多个放置槽内均插接有卡件，多个卡件靠近连接轴一侧均设置有限位槽，多个卡件内...
该专利属于无锡颂林达科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过无锡颂林达科技有限公司授权不得商用。

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