温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供一种纳米压印方法，包括将工作模具和形成有压印胶层的基板置于密封腔室中，向密封腔室中引入工作气体以置换环境气体，所引入的工作气体相对于原有的环境气体在压印胶层中具有更大的溶解度；随后，使工作模具以其微纳结构与压印胶层贴合的状态下，向...
该专利属于联合微电子中心有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过联合微电子中心有限责任公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。