温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本申请公开一种硅片自动上下料系统，花篮下料道和花篮上料道间隔叠置设于基座上，花篮放置机构和晶舟放置机构均设于基座上，花篮搬运机械臂、插片机械臂和晶舟搬运机械臂固定于安装空间中，花篮搬运机械臂用于抓取花篮置于花篮放置机构上和/或抓取花篮放置于...
该专利属于江苏小牛自动化设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏小牛自动化设备有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。