【技术实现步骤摘要】
本技术涉及硅片生产,尤其涉及一种硅片自动上下料系统。
技术介绍
1、随着光伏装机终端市场的快速发展,有效拉动了包括硅片在内等光伏原材料的需求,由此,进一步对硅片加工企业的产能提出较高的要求。而通过人工搬运硅片来进行扩散工艺的方式会导致效率低下,势必会被淘汰,而如何提升硅片的加工效率是急需解决的难题。
2、为了解决上述问题,申请号为202111354801.4的中国专利提供了一种硅片上下料系统,包括导片机装置、硅片翻转装置和搬运装置,导片机装置控制硅片流转至硅片翻转装置,并控制花篮的内部流转,硅片翻转装置控制对硅片的吸取、翻转以及分合,搬运装置控制硅片在主机与硅片翻转装置间的流转,从而实现硅片由导片机装置到主机的上料流程以及由主机到导片机装置的下料流程。在整个循环流程中,上述结构使多个硅片需要从花篮中被依次取出或依次放回花篮中,且该过程中还需规正硅片位置使其齐整,然后多个硅片在整合置于石英舟中前,需要先缓存在额外的花篮中再输送至石英舟侧进行搬运流转,从而导致硅片的流转效率较低。
技术实现思路
1、本本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种硅片自动上下料系统,其特征在于,包括基座(100)、花篮上料道(210)、花篮搬运机械臂(220)、花篮放置机构(240)、花篮下料道(250)、插片机械臂(400)、晶舟搬运机械臂(530)和晶舟放置机构(510),所述花篮下料道(250)和所述花篮上料道(210)上间隔叠置设于所述基座(100)上,所述花篮放置机构(240)和所述晶舟放置机构(510)均设于所述基座(100)上,所述花篮搬运机械臂(220)、所述插片机械臂(400)和所述晶舟搬运机械臂(530)固定位于所述基座(100)开设的安装空间中,
2.根据权利要求1所述的一种硅片自动上
...【技术特征摘要】
1.一种硅片自动上下料系统,其特征在于,包括基座(100)、花篮上料道(210)、花篮搬运机械臂(220)、花篮放置机构(240)、花篮下料道(250)、插片机械臂(400)、晶舟搬运机械臂(530)和晶舟放置机构(510),所述花篮下料道(250)和所述花篮上料道(210)上间隔叠置设于所述基座(100)上,所述花篮放置机构(240)和所述晶舟放置机构(510)均设于所述基座(100)上,所述花篮搬运机械臂(220)、所述插片机械臂(400)和所述晶舟搬运机械臂(530)固定位于所述基座(100)开设的安装空间中,
2.根据权利要求1所述的一种硅片自动上下料系统,其特征在于,还包括碎片处理料道(300)和花篮检测机构(230),所述碎片处理料道(300)设于所述基座(100)上,所述花篮上料道(210)、所述碎片处理料道(300)和所述花篮下料道(250)并列间隔,所述花篮检测机构(230)设于所述花篮搬运机械臂(220)上或所述基座(100)上或所述花篮上料道(210)上,所述花篮检测机构(230)用于检测所述花篮中的所述多个未加工硅片是否破损,所述碎片处理料道用于承载处于不合格状态的所述花篮。
3.根据权利要求2所述的一种硅片自动上下料系统,其特征在于,在所述花篮检测机构(230)设于所述基座(100)上的情况下,所述花篮检测机构(230)包括视觉模组(231)和驱动组件(232),所述驱动组件(232)设于所述基座(100)上,所述视觉模组(231)与所述驱动组件(232)相连,所述驱动组件(232)可驱动所述视觉模组(231)移动。
4.根据权利要求1所述的一种硅片自动上下料系统,其特征在于,还包括晶舟检测机构(520),所述晶舟检测机构(520)设于所述基座(100)上,所述晶舟检测机构(520)和所述晶舟放置机构(510)沿重力方向相对设置,所述晶舟检测机构(520)用于检测所述晶舟中的所述多个未加工硅片或所述多个已加工硅片是否破损。
5.根据权利要求1所述...
【专利技术属性】
技术研发人员:李广炜,岳园,杨恒壮,杭天奇,黄迪,韩少伟,
申请(专利权)人:江苏小牛自动化设备有限公司,
类型:新型
国别省市:
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。