温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

显影装置包括显影腔体、晶圆夹持器、冲洗臂、冲洗喷嘴、夹具、遮光元件以及第一感测器。晶圆夹持器位于显影腔体内。冲洗臂邻近于晶圆夹持器，中冲洗臂配置以基于一垂直轴旋转。冲洗喷嘴安装在冲洗臂上。夹具位于冲洗臂下方并围绕垂直轴，其中夹具上具有沟槽，...
该专利属于台积电（中国）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过台积电（中国）有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。