下载微机械构件的技术资料

文档序号:42673012

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本发明涉及一种微机械构件,具有电路板、ASIC芯片(2)和MEMS芯片(4),所述电路板具有主延伸平面(x,y),所述ASIC芯片(2)和MEMS芯片(4)平行于所述主延伸平面布置,其中,ASIC芯片布置在电路板上方并且MEMS芯片布置在A...
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