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本技术公开了一种石英坩埚码垛装置,包括导轨,所述导轨的上表面滑动连接有第一平移大板,所述第一平移大板的上表面固定镶嵌有第一电机,所述第一电机的输出端固定连接有齿轮,所述导轨的内侧壁固定连接有齿条,所述齿条与齿轮相啮合,所述第一平移大板的上表...该专利属于天津必利优科技发展有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过天津必利优科技发展有限公司授权不得商用。
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