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本发明公开了一种多腔结构式真空腔组件，涉及真空腔技术领域，包括：中心舱，所述中心舱的外表面固定连通有多个分舱，清理组件，所述清理组件包括有安装架，所述安装架的内部顶面设置真空抽吸泵。本发明通过当某一个分舱内部需要抽真空时，首先启动相对性的液...
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