一种多腔结构式真空腔组件及其使用方法技术

本发明专利技术公开了一种多腔结构式真空腔组件，涉及真空腔技术领域，包括：中心舱，所述中心舱的外表面固定连通有多个分舱，清理组件，所述清理组件包括有安装架，所述安装架的内部顶面设置真空抽吸泵。本发明专利技术通过当某一个分舱内部需要抽真空时，首先启动相对性的液压杆，使得与该输送管的一端与挡环的内部连通，然后启动真空抽吸泵，向分舱的内部输送气体，直至分舱内部的真空度达到所需的真空度，关闭该第一智能控制阀，启动气泵，进而将该输送管与连接桶内部滞留的气体和向输出管的内部推动，达到清理管道的目的，解决了现有技术中使用多腔结构式真空腔组件时需要配备多个真空泵提高成本的问题。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及真空腔，具体为一种多腔结构式真空腔组件及其使用方法。

技术介绍

1、多腔结构式真空腔组件是一种用于实现真空环境的设备，它由多个腔室组成，每个腔室可以独立地进行真空处理，这种组件通常用于需要不同真空级别或多个处理步骤的应用中，多腔结构式真空腔组件可以广泛应用于各种领域，例如半导体制造、材料研究、光学薄膜沉积等需要精确控制、多步骤处理和不同真空级别的工艺过程中，它使得不同步骤的处理可以在不影响其他腔室的情况下独立进行，提高了处理的效率和灵活性。

2、现有技术中，多腔结构式真空腔组件每个腔室都独立配备一个真空抽吸泵，达到独立抽取每个腔室真空度的目的，虽然每个腔室单独配置一个真空泵可有效的防止气体之间的污染，但也提高了多腔结构真空腔的制造成本，进而增加了使用者的使用成本，而多腔室使用一个真空泵时又容易造成每个腔室之间产生污染，给多腔结构式真空腔组件的使用带来不便。

3、所以我们提出了一种多腔结构式真空腔组件及其使用方法，以便于解决上述中提出的问题。

技术实现思路

<p>1、本专利技术的本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种多腔结构式真空腔组件，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的多腔结构式真空腔组件，其特征在于：所述安装架(901)的底部与中心舱(1)的顶部固定连接，所述真空抽吸泵(902)的进气管和吸气管的底端均贯穿至连接桶(904)的内部。

3.根据权利要求2所述的多腔结构式真空腔组件，其特征在于：多个所述弧形板(908)的外表面分别与多个卡槽(909)的内部活动连接，多个所述输送管(910)的一端分别固定贯穿至多个卡槽(909)的内部，多个所述输送管(910)的另一端分别贯穿至多个分舱(2)的内部。

4.根据权利要求3所述的多腔结构式真空腔组件，其...

【技术特征摘要】

1.一种多腔结构式真空腔组件，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的多腔结构式真空腔组件，其特征在于：所述安装架(901)的底部与中心舱(1)的顶部固定连接，所述真空抽吸泵(902)的进气管和吸气管的底端均贯穿至连接桶(904)的内部。

3.根据权利要求2所述的多腔结构式真空腔组件，其特征在于：多个所述弧形板(908)的外表面分别与多个卡槽(909)的内部活动连接，多个所述输送管(910)的一端分别固定贯穿至多个卡槽(909)的内部，多个所述输送管(910)的另一端分别贯穿至多个分舱(2)的内部。

4.根据权利要求3所述的多腔结构式真空腔组件，其特征在于：多个所述分舱(2)的内部均活动嵌设有两个限位管(3)，多个限位管(3)每两个为一组，每组所述限位管(3)的一端之间均固定连接有密封盖(4)，多个所述分舱(2)的顶部均固定连接有连接架(5)，多个所述连接架(5)的内壁均设置电推杆(6)，多个所述电推杆(6)的一端分别与多个密封盖(4)的外表面固定连接。

5.根据权利要求4所述的多腔结构式真空腔组件，其特征在于：多个所述分舱(2)的外表面均设置密封组件(7)，多个所述密封组件(7)均包括有限位架(701)，多个所述限位架(701)的底部分别与多个分舱(2)的顶部固定连接，多个所述限位架(701)的内部顶面均设置第一电动伸缩杆(702)，多个所述第一电动伸缩杆(702)的底端均固定有挡板(703)。

6.根据权利要求5所述的多腔结构式真空腔组件，其特征在于：多个所述挡板(703)的底部分别活动贯穿至多个分舱(2)的内部，多个所述挡板(703)的外表面...

【专利技术属性】
技术研发人员：王国宝，
申请(专利权)人：深圳市众可亿精密工业有限公司，
类型：发明
国别省市：