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本公开实施例提供了一种碳化硅结构及其制备方法，其中，碳化硅结构的制备方法包括：先后执行第一操作和第二操作，以形成碳化硅层；所述碳化硅层中的不同部位存在颜色变化；第一操作包括：向反应腔室内通入载气气体以及含碳元素和硅元素的反应气体；第二操作包...
该专利属于重庆欣晖材料技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过重庆欣晖材料技术有限公司授权不得商用。

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