下载传感器芯片封装结构、传感器芯片封装方式及气体传感器的技术资料

文档序号:42667769

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本发明提供了一种气体传感器芯片封装结构、传感器芯片封装方式及气体传感器,该封装结构包括基底、电极组件和气敏膜;所述电极组件包括第一叉状电极和第二叉状电极,所述第一叉状电极和所述第二叉状电极均设置在基底上,所述第一叉状电极和所述第二叉状电极之...
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