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本发明提供了一种多功能晶圆承载装置和晶圆承载设备，涉及半导体技术领域，该多功能晶圆承载装置包括基座、晶圆支架、第一滚轮组件、第二滚轮组件和切换驱动组件，基座的中部活动设置有升降台；晶圆支架设置在的基座上；第一滚轮组件活动设置在基座的一侧，第...
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