下载一种太阳能电池及其制备方法的技术资料

文档序号:42665458

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本发明属于太阳能电池领域,涉及一种太阳能电池制备方法,包括以下步骤:硅片双面制绒;硅片正面制备PN结;硅片背面碱抛;碱抛清洗,所述碱抛清洗包括氧化清洗、中和清洗、慢提拉和烘干;隧穿氧化层沉积;所述碱抛清洗还包括:一次流动水冲洗,所述中和清洗...
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