温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种晶圆兆声波清洗机构及其使用方法，涉及清洗机构技术领域，包括清理机构，所述清理机构上部放置有放料机构，所述清理机构包括物料输送带和供气组件，所述物料输送带上部固定连接有兆声波喷淋清洗组件。本发明中，通过兆声波喷淋清洗喷头对晶圆...
该专利属于长喆电（苏州）半导体技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过长喆电（苏州）半导体技术有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。