下载一种硅单晶炉内硅溶液液面高度监测系统及其使用方法的技术资料

文档序号:42660683

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本发明公开一种硅单晶炉内硅溶液液面高度监测系统及其使用方法,包括投影组件、监测组件以及数据处理组件;投影组件包括投影仪和一号反射镜,反射镜设置在硅单晶炉的一号观察口上方,投影仪固定在硅单晶炉上方,投影仪的发射口对准反射镜的反射面;监测组件为...
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