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本发明公开了一种基于视觉的半导体晶圆点胶缺陷检测装置,涉及视觉检测技术领域,包括机架,所述机架的上方设置活动柱,所述活动柱的顶端滑动套接固定柱,所述活动柱的一侧开设有转动孔。本发明通过检测机构的设置,将完成点胶的半导体晶圆输送至摄像头下方,...该专利属于深圳市世椿智能装备股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过深圳市世椿智能装备股份有限公司授权不得商用。
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