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本发明提供了一种MEMS微制动器及其制造方法，包括沿着单向轴X方向构制的固定基块和可平移基块，两者之间通过至少一个沿X轴向具有弹力的弹性连接件相连接，弹性金属导线连接在固定基块和可平移基块之间，对可平移基块产生一沿X轴向的拉力。本发明提供的...
该专利属于深圳瑞纳电子技术发展有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳瑞纳电子技术发展有限公司授权不得商用。

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