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本申请实施例提供一种探针装置、检测装置，涉及半导体测试技术领域，用于改善检测信号路径上的电感值，对检测信号准确性造成影响的问题。该探针装置包括基板、信号接口、承载板、信号转接板、探针以及线缆。承载板、基板以及信号转接板层叠设置。基板作为设置...
该专利属于华为技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过华为技术有限公司授权不得商用。

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