下载无掩膜光刻的反倾斜直接帧化方法、设备及存储介质的技术资料

文档序号:42654237

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本发明的一种无掩膜光刻的反倾斜直接帧化方法、设备及存储介质,包括根据构建帧化矩形,反向倾斜待曝光图形副本,按反倾斜方向和轴向步长改变帧化矩形的位置,按空间光调制器的像方像素精度在帧化矩形内进行多边形填充,得到帧图像。本发明利用待曝光图形的反...
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