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本技术涉及半导体制造检测设备技术领域，公开一种两次反射式晶圆定位检测装置，包括传感器支架、发射传感器、接收传感器、第一棱镜和第二棱镜。在传感器支架上同侧间隔设置的发射传感器与接收传感器分别能发射和收集光电信号，在同一水平高度相对设置的第一棱...
该专利属于无锡卓海科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过无锡卓海科技股份有限公司授权不得商用。

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