下载光吸收剂及含有光吸收剂的有机抗反射涂层组合物的技术资料

文档序号:4265308

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本发明涉及用于有机抗反射涂层结构的光吸收剂,和含有光吸收剂的有机抗反射膜合成物。所述光吸收剂是右下化学式(1a)、(1b)的化合物,其混合物,或化学式(2)的化合物。其中在化学式(1a)和(1b)中,X选自取代或非取代的具有1到20个碳原子...
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