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一种基于气浮导轨的超声驱动主动测头制造技术
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文档序号:42652806
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一种基于气浮导轨的超声驱动主动测头属于高精度测量和机电技术领域;本发明装置的基座上固连有两个气浮短套,基座与气浮短套之间安装有气浮导轨,导轨中部安装有菱形振子,菱形振子的外侧安装有预紧铰链,预紧铰链与菱形振子过盈配合,工作时,高压气体由气源...
该专利属于北京工业大学所有,仅供学习研究参考,未经过北京工业大学授权不得商用。
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