【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种接触式主动测头，具体涉及一种基于气浮导轨的超声驱动主动测头。
技术介绍
1、微位移测量装置在精密加工、智能制造、仪器仪表等高端装备和智能设备领域应用广泛，目前微位移的测量方法和装置结构在测量精度、测量力大小和测量装置尺寸的性能指标上难以兼顾，难以满足微位移的高精度测量需求。本专利技术设计一种主动测头，采用气浮导轨作为导向机构，减小运动方向的摩擦力，采用菱形振子驱动气浮导轨运动，减小测头的触发测量力，采用电容传感器作为测量装置实现微位移的测量，测头装置在实现高精度的同时，也同时设计有小尺寸的结构。
2、已公开的专利cn111947571a是一种微力测力式三维综合螺纹测量机测头，横向和纵向测微位移系统分别测得水平和垂直方向的微位移量，利用平行簧片作为导向机构，利用光栅尺测量微位移，该装置结构复杂，体积不够小型化。
3、已公开的专利cn115325943a是一种高分辨率位移测量装置，通过高频光电探测器测量激光双纵模的频率变化，通过分光棱镜对双纵模进行分光处理，通过光电探测器测量光强，由光强变化的正负值...
【技术保护点】
1.一种基于气浮导轨的超声驱动主动测头，包括测针(1)、基座(2)、传感器罩壳(3)、电机罩壳(4)、气源(5)，其特征在于：基座(2)上固连有两个气浮短套(6)，基座(2)与气浮短套(6)之间安装有气浮导轨(7)；
2.根据权利要求1所述的一种基于气浮导轨的超声驱动主动测头，其特征在于：工作时，高压气体由气源(5)产生，通过净化装置(17)、调压阀(18)进入进气孔(13)，再由进气孔(13)依次经过横向主气道(12)、垂向主气道(14)和纵向主气道(11)，最后经过若干条支气道(8)由节流器(9)进入气浮导轨(7)与气浮工作面A、B、C、D的间隙，此时...
【技术特征摘要】
1.一种基于气浮导轨的超声驱动主动测头，包括测针(1)、基座(2)、传感器罩壳(3)、电机罩壳(4)、气源(5)，其特征在于：基座(2)上固连有两个气浮短套(6)，基座(2)与气浮短套(6)之间安装有气浮导轨(7)；
2.根据权利要求1所述的一种基于气浮导轨的超声驱动主动测头，其特征在于：工作时，高压气体由气源(5)产生，通过净化装置(17)、调压阀(18)进入进气孔(13)，再由进气孔(13)依次经过横向主气道(12)、垂向主气道(14)和纵向主气道(...
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