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本发明公开了一种刻蚀设备用陶瓷喷嘴的表面粗糙度检测装置及方法，旨在解决现有的陶瓷喷嘴粗糙度检测方法很难批量检测，无法保证陶瓷喷嘴检测粗糙度的稳定性、同步性和正确性的不足。该发明包括转台，转台上设置若干定位治具；机械手，抓取陶瓷喷嘴转移到定位...
该专利属于杭州大和江东新材料科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过杭州大和江东新材料科技有限公司授权不得商用。

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