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本发明公开了测量微量细胞悬浮液电特性的传感器及其制作与使用方法。该传感器从下至上依次包括介质基板、共面波导传感器、微流道板和盖板。所述介质基板在毫米波频段具有低损耗的性能，共面波导传感器通过微纳工艺制作在介质基板上。微流道板以SU‑8光刻胶...
该专利属于杭州电子科技大学所有，仅供学习研究参考，未经过杭州电子科技大学授权不得商用。

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