测量微量细胞悬浮液电特性的传感器及其制作与使用方法技术

本发明专利技术公开了测量微量细胞悬浮液电特性的传感器及其制作与使用方法。该传感器从下至上依次包括介质基板、共面波导传感器、微流道板和盖板。所述介质基板在毫米波频段具有低损耗的性能，共面波导传感器通过微纳工艺制作在介质基板上。微流道板以SU‑8光刻胶为原料，通过微纳工艺与共面波导传感器一体化集成。PDMS材料的盖板键合在微流道板上方，对微流通道进行密封。所述传感器的工作频带覆盖0.1G～110GHz，通过微流控中设计细胞捕获结构，保证测量过程中细胞在传感器的高灵敏区域，和每次测量细胞浓度的一致。具有宽频带、尺寸小、便于加工、易于集成等优点，在细胞毫米波检测和识别中具有重大的潜力。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于传感器，涉及结合微流通道的传感器结构，具体涉及测量微量细胞悬浮液电特性的传感器及其制作与使用方法。

技术介绍

1、微波、毫米波作为特定频段的电磁波，具备直接穿透细胞膜并与细胞内部产生交互作用的独特性质，信号入射到液体样本的分界面时，会发生透射和反射现象，透射和反射系数与液体样本的介电常数相关，因此可以从测量得到的散射参数中推算出待测样品的介电常数。由于细胞尺寸、细胞内液/外液/细胞膜/细胞核含水量、离子量等细胞特性的差异均会显著影响其微波/毫米波的电特性，通过精准测量和分析微波/毫米波的电磁特性，能够揭示细胞内部的组成差异，进而增进对细胞结构与功能的理解，为深入探索细胞的基本特性提供了全新的视角。不同种类、浓度、活性细胞在微波/毫米波的电特性存在差异，因此通过微波/毫米波电特性检测技术对细胞进行电学检测具有理论基础。

2、现有技术中的电特性表征的毫米波传感器根据其拓扑结构，可以分为平面结构与非平面结构。其中平面结构的毫米波传感器传感器，如共面波导，平面谐振器等，具有结构紧凑、更容易用加工，以及可与微流控集成等优势；但是由于开放式的本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.测量微量细胞悬浮液电特性的传感器，其特征在于：从下至上依次包括介质基板、共面波导传感器、微流道板和盖板；

2.如权利要求1所述测量微量细胞悬浮液电特性的传感器，其特征在于：所述共面波导传感器的特征阻抗为50Ω，外轮廓形状为三角形、矩阵或正方形。

3.如权利要求1所述测量微量细胞悬浮液电特性的传感器，其特征在于：所述微流通道以中心导体带为对称轴，两侧对称。

4.如权利要求1所述测量微量细胞悬浮液电特性的传感器，其特征在于：所述介质基板的材料为本征高阻硅或陶瓷。

5.如权利要求1所述测量微量细胞悬浮液电特性的传感器，其特征在于：所述微流通道...

【技术特征摘要】

1.测量微量细胞悬浮液电特性的传感器，其特征在于：从下至上依次包括介质基板、共面波导传感器、微流道板和盖板；

2.如权利要求1所述测量微量细胞悬浮液电特性的传感器，其特征在于：所述共面波导传感器的特征阻抗为50ω，外轮廓形状为三角形、矩阵或正方形。

3.如权利要求1所述测量微量细胞悬浮液电特性的传感器，其特征在于：所述微流通道以中心导体带为对称轴，两侧对称。

4.如权利要求1所述测量微量细胞悬浮液电特性的传感器，其特征在于：所述介质基板的材料为本征高阻硅或陶瓷。

5.如权利要求1所述测量微量细胞悬浮液电特性的传感器，其特征在于：所述微流通道的高度为20um，细胞拦截结构的高度为15um。

6.如权利要求1所...

【专利技术属性】
技术研发人员：孙文，孙玲玲，陈津，
申请(专利权)人：杭州电子科技大学，
类型：发明
国别省市：