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本发明涉及核技术领域,公开了一种基板结构、靶系统及其制备方法。该靶系统包括基板,所述基板的上表面为蜂窝状结构,所述蜂窝状结构中相邻通孔之间的交界处设置有若干导流孔,各通孔内由下到上依次设置有氢扩散层、靶材层及氧化缓解层。本发明对靶系统的基板...该专利属于华硼中子科技(杭州)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过华硼中子科技(杭州)有限公司授权不得商用。
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本发明涉及核技术领域,公开了一种基板结构、靶系统及其制备方法。该靶系统包括基板,所述基板的上表面为蜂窝状结构,所述蜂窝状结构中相邻通孔之间的交界处设置有若干导流孔,各通孔内由下到上依次设置有氢扩散层、靶材层及氧化缓解层。本发明对靶系统的基板...