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创新方法(100)用于从块状件去除碳化硅层；块状件包括碳化硅层下面的石墨衬底；该方法依次包括以下步骤：a)将块状件浸入(110)含硝酸的第一溶液中，b)将块状件浸入(120)含氢氟酸和氧化剂的第二溶液中，并且通常c)将块状件浸入(130)优...
该专利属于LPE公司所有，仅供学习研究参考，未经过LPE公司授权不得商用。

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