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本技术公开一种IBS真空镀膜均匀性修正装置，修正装置包括修正板基座和两个以上的修正板，两个以上的修正板在修正板基座上称环形均匀分布，修正板安装端端头固定安装在修正板基座上，修正板的修正端头伸出至修正板基座外侧。采用本技术可以在镀膜过程中控制...
该专利属于北极光电（深圳）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北极光电（深圳）有限公司授权不得商用。

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