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本公开实施例提供一种晶圆检测方法及晶圆检测系统，该方法包括：根据接收到的检测指令，控制运动台上的水平横移台以及转台进行加速运动，其中，在加速运动过程中，任一时刻水平横移台的移动速度和转台的转速的矢量和等于第一恒线速度，其中，所述运动台上载有...
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